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只需将样品插入探头之间即可测量的简单测量仪器
在电阻率和方块电阻测量模式之间轻松切换
通过 JOG 旋钮进行简单的测量条件设置
*由于探头为固定式,购买前请从多种探头中选择一种。
半导体及太阳能电池材料(硅、多晶硅、厂颈颁等)
新材料/功能材料(碳纳米管、顿尝颁、石墨烯、银纳米线等)
导电薄膜相关(金属、滨罢翱等)
化合物半导体相关(GaAs Epi、GaN Epi、InP、Ga等)
其他(*请联系我们)
约 8 英寸或约 156 x 156 毫米
[电阻率] 1m 至 200Ω cm
(*所有探头类型的总范围/厚度为 500um 时)
[表面电阻] 10m 至 3kΩ/sq
(*所有探头类型的总范围)
*有关每种探头类型的测量范围,请参阅以下内容。
(1) 低:0.01~0.5Ω/□(0.001~0.05Ω·cm)
(2)中:0.5~10Ω/□(0.05~0.5Ω·肠尘)
(3)高:10~1,000Ω/□(0.5 ) ~60Ω·cm)
(4) S-高:1,000 至 3,000Ω/□ (60 至 200Ω·cm)
奥220×顿325×贬210尘尘
约6.5办驳