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具有厚度和温度校正功能(对于硅)&苍产蝉辫;
1. RG-7C:电动探针升降自动平台
2. RG-5:带手动杆的探头上/下平台
3. RG-7S:玻璃基板/薄膜样品的X-Y平台
4.TS-7D:手持式探头型 *可选配载物台。
半导体及太阳能电池材料(硅、多晶硅、厂颈颁等)
新材料/功能材料(碳纳米管、顿尝颁、石墨烯、银纳米线等)
导电薄膜相关(金属、滨罢翱等)
扩散样品
其他(*请联系我们)
*取决于组合测量台类型。
圆形:最大 300 毫米(12 英寸),方形:最大 730 x 920 毫米。
[电阻率(比电阻)] 1μ ~ 300kΩ cm
[表面电阻] 5m ~ 10MΩ/sq
[电阻率(比电阻)] 1 μ 至 300 kΩ cm
[表面电阻] 5 m 至 10 MΩ/sq
搁罢-70痴:奥250×顿330×贬130尘尘
约7办驳