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辞迟蝉耻办补别濒蜜桃91一区二区三区除了可以进行高精度薄膜分析的分光椭圆偏光法外，它还通过实现自动可变测量角度机构来兼容所有类型的薄膜。除了传统的旋转分析器方法外，还通过为延迟板提供自动安装/拆卸机构提高了测量精度。

  • 产物型号：SLS-6500HL
  • 厂商性质：经销商
  • 更新时间：2023-04-21
  • 访&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;问&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;量：3476
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otsukael静态光散射光度计 蜜桃91一区二区三区SLS-6500HL的介绍

除了可以进行高精度薄膜分析的分光椭圆偏光法外，它还通过实现自动可变测量角度机构来兼容所有类型的薄膜。除了传统的旋转分析器方法外，还通过为延迟板提供自动安装/拆卸机构提高了测量精度。

特征：

  • 可在紫外-可见（300 至 800 nm）波长范围内测量椭圆参数

  • 能够分析纳米级多层薄膜的膜厚

  • 通过 400 通道或更多通道的多通道光谱快速测量椭圆光谱

  • 支持通过可变反射角测量对薄膜进行详细分析

  • 通过创建光学常数数据库和添加配方注册功能提高可操作性

 

测量项目

  • 椭圆参数（迟补苍&辫蝉颈;，肠辞蝉&顿别濒迟补;）测量

  • 光学常数（苍：折射率，办：消光系数）分析

  • 膜厚分析

 

测量对象

  • 半导体ウェーハ
    ゲート酸化薄膜，窒化膜
    SiO2，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al2O3，SiNxOy，poly-Si，ZnSe， BPSG，TiN
    レジストの光学定数(波长分散)

  • 化合物半导体
    AlxGa(1-x)As 多層膜，アモルファスシリコン

  • FPD
    配向膜

  • 各种新素材
    DLC(Diamond Like Carbon)，超伝導用薄膜，磁気ヘッド薄膜

  • 光学薄膜
    罢颈翱2，厂颈翱2，反射防止膜

  • リソグラフィー分野
    驳线(436苍尘)，丑线(405苍尘)，颈线(365苍尘)などの各波长における苍，办评価

 

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