特征
红外板厚度监视器测量半透明板的厚度,如电池隔板、低反射涂层(如黑色保护层)和硅。它
可用于从实验室水平到生产中在线100%检测的所有应用。红外吸收系统由一个带有透射光
学系统的紧凑型镜面探头组成,可在100多个波长下同时测量多种参数,如薄膜厚度、密度
和成分。
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测量半透明板、低反射膜、硅等的厚度。这对于光学干涉测量来说是很困难的
3
高速测量
从950纳米到1650纳米的近红外波长在100个点或更多点的同步采样
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测量算法
算法 | 校准样品 | 参数数量 |
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兰伯特-啤酒定律 | 1 | 厚度 |
最小二乘回归方法 | 2或更多 | 多参数 (厚度、密度、复合比率等) |