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2023-11-17产物中心/ products
日本辫丑辞迟辞苍颈肠-濒补迟迟颈肠别膜厚分布测量检测仪ME-210/ME-210-T这是一款高速映射椭圆仪,可以测量 φ8″ 晶圆的整个表面(最大?300 mm 是可选的),可以高速和高密度测量 1 nm 或更小的膜厚度变化。它支持各种膜厚分布测量。
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日本辫丑辞迟辞苍颈肠-濒补迟迟颈肠别膜厚分布测量检测仪ME-210/ME-210-T
日本辫丑辞迟辞苍颈肠-濒补迟迟颈肠别膜厚分布测量检测仪ME-210/ME-210-T
这是一款高速映射椭圆仪,可以测量 φ8″ 晶圆的整个表面(最大?300 mm 是可选的),可以高速和高密度测量 1 nm 或更小的膜厚度变化。它
支持各种膜厚分布测量。
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重复性 |
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测量速度 |
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光源 |
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测量点 |
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入射角 |
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尺寸 (宽 x 深 x 高) |
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兼容透明基材 |
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舞台尺寸 |
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尺寸 (宽 x 深 x 高) |
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重量 |
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界面 |
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界面 |
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软件 |
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