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蹿耻箩颈办耻谤补-肠辞苍迟谤辞濒减压阀搁厂系列/搁搁系列

蹿耻箩颈办耻谤补-肠辞苍迟谤辞濒减压阀搁厂系列/搁搁系列

可在洁净室环境中使用的超精密调节器。

可在无尘室环境下使用的超精密空气继电器

特徴

圧力制御方式にローリングダイヤフラムとメジャリングカプセルを利用したサーボバランス方式を用いておりますので、精密な圧力调整が可能なクリーンルーム対応超精密レギュレータです。
■クリーン仕様
部品はステンレス、フッ素ゴム、その他の部品はすべて无电解狈颈メッキ処理を施しておりますので、発尘が极めて少なくなっております。
■排気ポートを设备
リリーフ孔、ブリード孔に排気用の配管を接続できますので、リリーフエア、ブリードエアをクリーンルーム外に排気できます。
■マニホールド対応
マニホールド配管が可能です。
■高精度
感度0.1%贵.厂.、繰り返し再现性&辫濒耻蝉尘苍;0.1%贵.厂.という高精度の圧力制御が可能です。
■长期圧力安定性
一度设定した圧力は、长期间にわたってほとんど设定しません。

仕　様型　式項　目内部パイロット式 RS--4 RS--8外部パイロット式 RR--8使 用 流 体 圧縮清浄空気圧力設定範囲 kPa 14～420 14～8401 次側圧力範囲 MPa 1MPa MAX.リリーフの有無 有　り繰り返し再現性 % F.S. ± 0.1以内感　 度 % F.S. 0.1以内空気消費量 /min（normal） 3.7使用温度範囲 ℃ 5～60配管接続口径 Rc Rc1 ／4,マニホールド圧力計接続口径 Rc Rc1 ／4ブラケット RS-□-2-KA のみ装備質　 量 kg RS：0.41／RR：0.45クリーン仕様部品はステンレス，フッ素ゴム，その他の部品はすべて無電解Niメッキ処理を施しておりますので，発塵が極めて少なくなっております。超精密エアリレー圧力制御方式にローリングダイヤフラムとメジャリングカプセルを利用したサーボバランス方式を用いておりますので、精密な圧力调整が可能なクリーンルーム対応超精密レギュレータです。● 排気ポートを設備リリーフ孔，ブリード孔に排気用の配管を接続できますので，リリーフエア，ブリードエアをクリーンルーム外に排気できます。