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型号 | 频率范围 | 功率 | 应用场景 |
单喷嘴 | 400 kHz / 600 kHz / 1 MHz / 2 MHz / 3 MHz / 4 MHz / 5 MHz | 1000W/2000W | 半导体晶圆清洗、惭贰惭厂清洗 |
双喷嘴 | 400 kHz / 600 kHz / 1 MHz / 2 MHz / 3 MHz / 4 MHz / 5 MHz | 1000W/2000W | 同单喷嘴,适用于更复杂的清洗需求 |
叁喷嘴 | 400 kHz / 600 kHz / 1 MHz / 2 MHz / 3 MHz / 4 MHz / 5 MHz | 1000W/2000W | 同单喷嘴,适用于大面积清洗 |
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