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无图案300尘尘晶圆表面检测系统
奥惭-10搁是300尘尘晶圆的标准型号
是48苍尘的高灵敏度检测系统。
WM - 10R is a standard model of 300 mm wafer.It is a high sensitivity inspection system of 48 nm.
200尘尘以下无图案晶圆表面检测系统
奥惭-7系列是200毫米晶圆尺寸以下最的合理的高性能型号。
WM - 7 series is the most reasonable high - performance model below 200 mm wafer size.
WM-10R 有 2 轴粒子入射角。
WM 系列有 2 个宽数值孔径镜头,用于高灵敏度检测。
奥惭系列是带转速控制的螺旋扫描方式。
XY-数据发送到 EB 审查设备,然后可以通过轻松对齐进行审查。