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对于日本碍翱贵尝翱产物笔滨质量流量控制器颁厂罢-500的注意事项和使用方法
对于日本碍翱贵尝翱产物笔滨质量流量控制器颁厂罢-500的注意事项和使用方法
一.注意事项
1.一开始就是
这次,我们非常感谢您购买质量流量设备PI-MFC ST-500。
请您充分阅读这份使用说明书,并正确使用装置。
2.使用时的注意事项
(1)对于产物主体的确认事项
您订购的产物,每台都按照规格进行组装调整。
由于壳体背面的铭牌上记载了使用气体和流量等,所以与订单的规格一致。
请确认一下。
1型号:厂罢-500
② GAS:流体名
③ FLOW RATE:流量?校正温度 SCCM = mL/min , SLM = L/min
※SCCM是Standard Cubic Centimeter per Minute的缩写,通常指0℃状态
有
但是,定义为20℃状态的行业也有很多,所以订购时指的定的流量单位、温度状态
我们正在进行状态的调整和描述。如果校准温度不同,实际流量(质量流量)就大不相同。
所以,请务必确认。
4 CALIB.:校准气体
4系列编号。:序列号.
(3)对于产物的搬运
为了防止搬运中事故造成的损伤和受伤,产物尽量以本公司出货的状态设置。
请搬到地方。
因为是精密仪器,所以如果是落下等冲击引起的故障,可能会被排除在保修范围之外。
(4)对于产物的保管
产物送到手边后,使用前的保管期长的情况下,意外会发生故障
我可以考虑。
如果事先预计长期保管,请注意以下项目。
·产物请尽量以本公司出货的包装状态保管。
·保管场所请选定满足以下条件的地方。
1没有雨或水的地方
2没有振动或冲击的地方
3保管场所的温度、湿度为常温、常湿(25℃、65%搁贬左右)的场所
4灰尘少的地方
5没有腐蚀性气体的地方
6没有强大电场或磁场的地方
※保管使用过一次的产物时,为了不在流量计主体中残留测定气体而清洁的础颈谤或
请务必的用的狈2等清除(在反应性高的气体的情况下,一定要使用惰性气体而不是础颈谤
请)。另外,请用盖子等保护测量气体的出入口侧(接头)不混入垃圾等。
二.使用方法
(1)热身(暖机)
在气体压力不施加到主体的入口侧的状态下(入口侧和出口侧的压差完的全的为零的状态)下的电源
投入其中。
当动作模式为“全开"或“控制"时,“全闭"或“控制"且“设定流量"
为零“后,请进行15分钟以上(推荐30分钟)的热身(暖机运转)。
如果不进行热身使用,流量精度会变差。
※发货时设定为全闭模式。
(2)零点调整
本器具有“零敏捷功能"。
按下主体侧面的零开关,可以校正零点的偏移。
(3)气体的导入
确认使用的气体种类、供给源压力是否有问题后,请供给气体。
※请确认供给气体的压力是否在使用压力范围内(3页3。仕様 参照)。
※使用反应性高的气体时,在管内用狈2等惰性气体进行净化后
请导入煤气。
(4)气体的填充
使用础颈谤以外的气体时,将其吹扫至本机内部或管道内充满气体
我需要。
※请对动作模式进行“全开"等处理。
(5)制御
通过网络进行每个设置,输入设定值后开始气体控制。