超声与兆声的比较，兆声波在半导体行业的应用-蜜桃91一区二区三区

产物分类

products category

技术文章/ article

您的位置：首页 - 技术文章 - 超声与兆声的比较，兆声波在半导体行业的应用

超声与兆声的比较，兆声波在半导体行业的应用

更新时间：2024-01-04&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;

浏览次数：634

德国蝉辞苍辞蝉测蝉超声波清洗&苍产蝉辫;

应用兆声波的一个重要优势是能够顺利清洁极其脆弱的微结构。左图显示显微结构已被40 kHz超声

波频率的高空化能量破坏。被破坏的山脊厚度约为。4微米。在 1 MHz 超声波频率下，微观结构保

持不变（右图）。

破坏了脆弱的微观结构约。200 µm 高，以 40 kHz 频率开发。

未损坏的易碎微观结构，高 400 µm，以 1 MHz 频率开发。

当通过 X 射线光刻生产微结构时，致密和深层结构的无残留开发尤为重要。

在高纵横比的微结构（例如尝滨骋础技术）的开发过程中，由于产生的微流，颗粒被完的全冲走，开发时

间缩短了7倍。对于脆弱的结构，结构的深度可以增加 2 倍。

在没有兆声波支持的情况下开发的微观结构

在兆声波支持下开发的微观结构

返回列表