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它具有较宽的高度测量范围,可以测量白色干涉仪难以一
次测量的起伏。
它体积小、重量轻,可以集成到各种设备中。
可进行实时 [0.1 秒(最大)] 波纹度测量。
它具有较宽的动态范围,可以测量干涉仪难以测量的大像差。
除了波前的传感器之外,底座单元还内置有自准直仪、可用作测
量光的激光光源以及便于调节的对准相机。
可根据需要选配各种附件(扩束镜、聚光镜、参考球等)。
半导体晶圆波纹度测量
平面基底上金属薄膜波纹度的测量
金属和玻璃表面波纹度的测量
硬盘表面波纹度的测量
非球面透镜和凹/凸透镜的检查
镜头单元和光学装置的调整
检查平面物体的反射和透射波前的