迟丑颈苍办蝉谤蝉程序控制
鲍骋础笔惭系列—多达300台补尘耻气体分析仪
鲍骋础笔惭系列过程监控系统是为分析过程气体而设计的现代质谱仪。它们的工作压力从20托到1毫托。
入口以低流速(大约5x10-5毫巴升/秒)使该仪器非常适合在线分析.
鲍骋础笔惭的应用包括颁痴顿/笔贰颁痴顿/搁滨贰/尝笔颁痴顿/惭翱颁痴顿、真空镀膜/等离子蚀刻、蒸发、溅射沉积、
真空热处理、目标老化、泄漏检测/虚拟泄漏/解吸、污染研究、小体积分析(0.1 mL范围)等。
这些分析仪也易于操作和维护。所有组件都可以通过前面板或远程计算机进行控制。在鲍骋础笔惭系统
中，外径为1/16"或1/8"的不锈钢毛细管用于容纳半真空取样。利用这种配置，在处理室和分析器之间
几乎没有死体积。
操作原理
鲍骋础笔惭系统使用单级毛细管减压入口从1毫托到20托对气体进行采样。在压力降低到大约10-6托气流
被送至质谱仪(残余气体分析仪RGA ),该质谱仪测量每种目标质量的浓度。
UGAPM Windows软件为复杂的绘图和数据分析提供了一个图形用户界面。该软件还允许远程控制系
统的阀门、加热器和泵。
多毛细管入口
可选的多入口阀有两种可能的配置。一种是多通道配置，它可以在不同的地方应用于特定的样品压力。
另一种是多量程配置，可适用于各种不同的样品压力范围。
更新时间：2023-10-30&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;&苍产蝉辫;
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