迟丑颈苍办蝉谤蝉残余气体分析仪
RGA系列— 100、200和300 amu分析仪
- 100、200和300 amu系统
- 分辨率优于1 amu
- 6个数量级的动态
单次扫描的范围 - 5 x 10
-14
托检测极限 - 搁骋础视窗软件
- 搁厂-232和以太网接口
坚固的探头设计
探针由离子发生器、四极滤质器和检测器组成。简单的设计有少量的零件,最大限度地减少排气,
并减少将杂质引入真空系统的机会。探头组件坚固耐用,安装在标准2英寸颁贵法兰。除了离子发生
器之外,它被不锈钢管覆盖,离子发生器在真空系统中只需要2英寸的间隙——大约是标准离子规
的间隙。探头采用自动校准部件设计,因此在清洁后可以很容易地重新组装。