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这些电容式传感器采用陶瓷湿度传感器技术,采用薄膜技术。该传感器依赖于夹在两个导电层之间的多孔绝缘层对水蒸气的吸附。
水分子进入多孔绝缘体部分改变了顶部多孔导电层和底部导电层之间的电容。
该电容量(电容)被检测为水量,并通过传感器内部的数字处理作为线性输出输出。
该传感器的陶瓷绝缘层厚度小于0.5微米,顶部多孔导电层厚度为0.1微米,使其能够对水蒸气含量的微小变化做出快速响应
。尽管传感器很薄,但它坚固耐用。
由于上层是溅射在作为底层的陶瓷基底上,因此可以保持每层的均匀性,从而确保稳定的测量。
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