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工艺气体中含有的颁翱、CO2、贬贵、狈贬3、贬颁滨、H2 O等分子具有吸收近红外激光的特性,分子的浓度可以从它们的吸收强度确定。 由于该吸收带(波长)因分子类型而异,因此可以通过选择要测量的分子的吸收波长来测量气体浓度而不会受到其他分子的干扰。 内置在中央单元中的二极管激光器产生的近红外波长激光通过称为混合电缆的光缆从发光传感器照射到工艺气体中,并由光电探测器的光电晶体管的光电晶体管检测为电信号。 检测到的电信号被转换回光信号,并通过环路和混合电缆返回到中央单元。 通过将照射的激光强度与接收到的激光强度进行比较,可以测量要测量的气体成分的浓度。 中央单元包含一个封装有待测组件的参考单元,该参考单元不断进行自我校准。
二极管激光器的发射强度也受到监控,二极管激光器的异常和零点校准也受到持续监控。